III-V-on-Si Transceivers Based on Micro-Transfer-Printing

Promovendus/a
Zhang, Jing
Faculteit
Faculteit Ingenieurswetenschappen en Architectuur
Vakgroep
Vakgroep Informatietechnologie
Curriculum
Master's Degree of Science, Northwest University, China, 2012
Academische graad
Doctor in de ingenieurswetenschappen: fotonica
Taal proefschrift
Engels
Vertaling titel
III-V-op-Si-zendontvangers op basis van micro-transfer-printen
Promotor(en)
prof. Günther Roelkens, vakgroep Informatietechnologie - prof. Geert Morthier, vakgroep Informatietechnologie
Examencommissie
voorzitter prof. Filip De Turck (academisch secretaris) - prof. Geert Morthier (Vakgroep Informatietechnologie) - dr. ir. Peter Ossieur (Vakgroep Informatietechnologie) - dr. Joan Manel Ramírez (III-V Lab, France) - prof. Günther Roelkens (Vakgroep Informatietechnologie) - prof. Dries Van Thourhout (Vakgroep Informatietechnologie) - prof. Kevin Williams (Technische Universiteit Eindhoven, the Netherlands)

Korte beschrijving

In dit proefschrift hebben we ons gericht op een nieuwe heterogene integratietechnologie: microtransferprinting (μTP). De technologie maakt de nauwe integratie mogelijk op een gemeenschappelijk substraat (bv. silicium) van bijna elk materiaal of elke component die kan worden losgemaakt van het oorspronkelijke substraat. Ze laat ook de parallelle integratie van deze componenten op waferschaal toe. Bovendien vereist deze integratiemethode geen aanpassing van het Si fotonica back-end proces. Door het pre-fabriceren van componenten in dichte rijen op de bronwafer, wordt de verspilling van dure III-V materialen bovendien drastisch verminderd . Voor de integratiemethode moesten essentiële fabricageprocesstromen ontwikkeld worden om het gebruik ervan in de fotonica-industrie mogelijk te maken. In dit werk behandelen we de ontwikkeling van processtromen voor de realisatie van verschillende III-V-on-Si componenten, waaronder de pre-fabricage van III-V componenten (halfgeleider optische versterkers en fotodetectoren ) op het oorspronkelijke substraat, het vrijmaken en overdragen van deze componenten naar een silicium-op-isolator (SOI) substraat, en de post-processing op het SOI substraat. Met deze processtromen demonstreren we enkele belangrijke bouwstenen voor optische ontvangers/zendontvangers, waaronder gedistribueerde feedback lasers, lasers met lage lijnbreedte en brede afstembaarheid en fotodetectoren. Tot slot hebben we twee verschillende fiber-to-the-home zendontvangers gedemonstreerd en de haalbaarheid onderzocht van volledig geïntegreerde coherente ontvangers door middel van co-integratie van verschillende functionaliteiten op een enkele chip via μTP.

Praktisch

Datum
Dinsdag 16 maart 2021, 16:00
Livestream
Volg online

via livestream/videoconferentie, zie link hierboven, maatregel COVID19

Meer info

Contact
doctoraat.ea@UGent.be